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硅料與硅片品質(zhì)提升解決方案 >> 單晶棒電阻率虛高解決方案
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單晶棒電阻率虛高問(wèn)題
單晶棒檢測(cè)時(shí)，常會(huì)碰到電阻率虛高問(wèn)題，后續(xù)出現(xiàn)問(wèn)題也很難被察覺(jué)，這有時(shí)候會(huì)讓工程師很煩惱，有一種方法可以避免虛高......
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