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產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
    OWT-200平整度測(cè)試系統(tǒng)，采用光學(xué)方法測(cè)量晶圓、藍(lán)寶石、Sic、Si、玻璃等材質(zhì)的表面特征，在無(wú)需任何接觸的情況下測(cè)量厚度、TTV、LTV、彎曲度、平整度等，可在線和離線測(cè)量。
 
產(chǎn)品特點(diǎn)：

 ■厚度、TTV、LTV、翹曲度、彎曲度、平坦度測(cè)量；

 ■無(wú)接觸測(cè)量；

 ■無(wú)需校準(zhǔn)；

 ■高精度、高重復(fù)性；

 ■樣品臺(tái)可選：4寸、6寸、8寸；

 ■強(qiáng)大的分析軟件，可顯示3D表面形貌；

 ■同時(shí)進(jìn)行各種參數(shù)的測(cè)量，具備超高的測(cè)試速度；
 
技術(shù)參數(shù)：

 ■TTV

     ■精確度：±0.1um

     ■重復(fù)性精度：0.01um
 ■厚度

     ■精確度：±0.2um

     ■重復(fù)性精度：0.1um

     ■測(cè)試范圍：50-2000um
 ■翹曲度/彎曲度

     ■精確度：0.5um

     ■重復(fù)性精度：0.2um

     ■測(cè)試范圍：200um
 ■整機(jī)參數(shù)

     ■測(cè)量時(shí)間：<100秒

     ■最大測(cè)量尺寸：8寸

     ■尺寸：550*602*291mm

     ■整機(jī)功率：800W
 
典型客戶：

藍(lán)寶石、碳化硅、石英玻璃等透明或半透明晶片企業(yè)等。